微组装关键工艺设备技术平台研究

摘要：

介绍了微组装设备技术发展现状，重点论述了微组装关键设备工程化技术、先进微组装工艺技术和微组装工艺设备标准规范等微组装设备技术平台研究。通过该技术平台的研究，提升了微组装关键设备的先进性、稳定性和工艺系统集成能力。

关键词：微组装工艺设备、工艺系统集成、技术平台

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2014-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：8-12