国产半导体装备业崛起打破海外垄断需技术创新
与国外半导体装备巨头相比,国内厂商仍存较大差距,当前国内高端制造装备大多仍需依赖进口.专家表示,国产半导体装备业亟须努力突破核心技术,加大资本投入,构建完善生态链体系.1 国产半导体设备业迅速崛起据中国科学院微电子研究所所长叶甜春介绍,近年来国内外市场需求为国产半导体装备业提供了历史性发展机遇.目前一批极大规模集成电路制造装备、集成电路先进封装工艺制造装备、高亮度发光二极管制造装备开发成功,国产装备实现从无到有、从低端装备到高端装备的突破,一些装备开始与国际领先厂商竞争.
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2014-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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