基于时序分析的光刻版清洗机运行效率提升方法

摘要：

光刻版清洗机是典型的多轴运行类自动化清洗设备,清洗效率的提升是此设备的关键技术之一.介绍了一种基于时序分析的提升该设备运行效率的方法,实验证明此方法通过对控制时序的分析和优化,有效提升了设备的运行效率.

关键词：光刻版清洗机、时序分析、运行效率

所属期刊栏目：42

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2014-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38