分体式承片台机构的设计

摘要：

承片台机构是声学扫描检测设备中重要部件,为了解决常用承片台生锈、调平难度大、加工性差的问题,设计了一种分体式承片台机构,选择PMMA材料加工其易生锈部分,经长期考核该机构未发现生锈现象,而且装配及调平过程简单方便,易于操作,取得了非常好的使用效果.该机构能够广泛应用于类似具有承载功能的设备中,为以后设计起到借鉴作用.

关键词：声学扫描检测、承片台、分体式、调平

所属期刊栏目：42

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-65