全自动光刻机的同步控制方法

摘要：

对于一种包含多个相对独立又彼此干涉机构的全自动光刻机,设计合理的控制方法才能使各个机构高效而稳定地协同工作.按照机械结构将设备划分为4个控制对象,采用同步控制方法使这4个对象实现并行工作.这种控制方法相对于顺序执行工艺流程的方式,极大地提高了设备的运行效率.而且,这种同步控制方法也可适用于具有类似控制要求的其他设备.

关键词：多机械手、同步控制、全自动光刻机

所属期刊栏目：42

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2014-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-53