一种容易实现的硅片分类机

摘要：

本着实现半导体硅片分类机全部自主知识产权的目的,这里介绍一种关键零部件国内设计、制造的200 mm(8英寸)以上的半导体硅片分类机.本分类机用紧凑的结构(包括单个机械手和两套硅片标识识别装置),采用了较好的图像处理软件和可靠的字符标识识别软件,实现了制造成本低、识别成功率高、可靠性好、便于实现的结果.介绍了分类机的试验样机经过试验,已经证明了其主要功能的有效性.因此,此分类机具有产品化可能.

关键词：机械手、硅片传输、硅片缺口对准、标识识别

所属期刊栏目：42

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-02-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：12-17,35