LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究

摘要：

介绍了蓝宝石晶片的清洗原理;通过分析蓝宝石的表面净化原理和对湿法腐蚀清洗工艺试验的研究,提出了一种适用于工业化生产蓝宝石晶片的清洗剂和净化工艺,满足了LED领域的蓝宝石晶片表面洁净度要求.

关键词：蓝宝石晶片、净化工艺、清洗剂、湿法腐蚀

所属期刊栏目：42

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2014-01-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-10,58