刻蚀设备在太阳能晶硅电池刻蚀工艺中的应用

摘要：

介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比，从设备结构，工艺原理，试验测试等方面做了深入的分析，并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小，能够提高电池片的转换效率的优点，同时用实验验证了激光划片设备具有优异的刻蚀效果，对提升电池片效率的贡献。

关键词：激光刻蚀、等离子体刻蚀、太阳能、硅片电池

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2013-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29