MEMS技术现状与发展前景

摘要：

介绍了微电子机械系统(M EM S)技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合M EM S 材料与加工技术，讨论了MEMS 产品的封装技术及存在的问题，展望了MEMS 技术的发展前景。

关键词：微电子机械系统、代工厂、MEMS 工艺、MEMS 封装技术

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2013-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1-8,49