磁控溅射镀膜的原理与故障分析

摘要：

介绍了磁控溅射镀膜的种类及特点。以直流磁控溅射为例，介绍了其结构、原理，分析了影响磁控溅射工艺稳定性的因素。最后总结了磁控溅射镀膜工艺中常见的故障以及解决方法。

关键词：物理气象淀积、磁控溅射、故障分析、镀膜工艺

分类号：TN305.92(半导体技术)

在线出版日期：2013-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：57-60