全自动单晶圆铝腐蚀清洗机工艺原理与工作过程介绍

摘要：

介绍了几种常用的晶圆金属铝膜腐蚀工艺，并详细讲解了全自动单晶圆铝腐蚀清洗机采用第四种工艺配方进行金属铝膜腐蚀清洗的工艺过程。同时，简单介绍了为提高腐蚀清洗效果而设计的两套子系统的工作原理。

关键词：半导体、铝腐蚀、单晶圆清洗、自动设备

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2013-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,31