离子束刻蚀设备中离子源故障诊断和维修

摘要：

介绍了离子束加工技术在半导体工艺中的应用以及离子束刻蚀机的真空和控制系统、Veeco直流栅极离子源及其电源MPS-5001的结构和工作原理、PBN中和器的原理和作用.介绍了离子源电源参数的调整技巧及需要注意的问题,在此基础上给出了离子源常见故障现象的原因及解决办法.

关键词：离子源、离子束刻蚀、故障诊断、考夫曼、PBN中和器

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2013-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-61