发光强度测量与计算在探针测试中的应用

摘要：

通过对光谱仪的控制,对各项发光强度参数的计算与校准,在传统的探针设备基础上增加发光强度的测试过程,从而丰富探针设备的功能.目前设备已经达到红、黄、蓝光芯片的测试的要求,并在客户现场投入使用.主要总结归纳发光强度测量计算方法与实验结论.

关键词：光谱仪、发光强度参数、计算与校准

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2013-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34