全自动太阳能硅片清洗机的研制

摘要：

全自动太阳能硅片清洗机是对脱胶预清洗之后的硅片进行进一步的清洗.为了保证得到洁净的硅片,除了采用碱溶液清洗之外,清洗设备还增加了浸泡、超声清洗、抛动、鼓泡等清洗工艺,提高了硅片的清洗质量和可靠性,保证了硅片的清洗合格率.采用先进的自动控制系统,不仅能满足客户的现有工艺要求,还可以根据用户的需求进行不同的工艺配置.

关键词：太阳能硅片、超声清洗、工艺配置

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2013-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-18,45