贝叶斯网络在半导体设备故障诊断中的应用

摘要：

介绍了贝叶斯网络的概念、组成部分、结构图和条件概率表以及如何建立贝叶斯网络.总结了贝叶斯网络在故障诊断中应用的具体步骤.通过反应离子刻蚀(RIE)的典型故障,阐述了基于贝叶斯网络的故障诊断技术在半导体设备故障诊断中的应用.

关键词：贝叶斯网络、反应离子刻蚀、智能故障诊断

所属期刊栏目：42

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2013-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：62-66