JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统研制技术

摘要：

主要介绍了JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统设备功能、用途、结构组成、性能指标、主要特点,以及解决的关键技术和应用,能自动完成厚度在0.25～0.7 mm的φ100～φ200 mm具有基准边的标准圆片微细图形金属膜剥离、清洗和甩干工艺,剥离线宽能做到0.35 μm以上,是声表面波(SAW)器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件和先进封装等器件制造工艺中的关键设备.

关键词：金属膜剥离、自动传输系统、剥离清洗腔体、CCD中心定位、电气控制、软件系统

所属期刊栏目：42

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2013-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：49-54