甩干设备中的颗粒度分析

摘要：

甩干设备是半导体清洗工艺后的主要设备,阐述了甩干设备中颗粒产生的各种原因,并进行分析,提出了避免和减少颗粒的解决方案,降低甩干设备带来的颗粒污染.

关键词：颗粒、静电、振动

所属期刊栏目：42

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2013-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：55-57