晶圆减薄机弹性铰链的加工工艺研究

摘要：

介绍了一种减薄机关键零件弹性铰链的零件性能及材料选择,分析了零件的加工工艺流程、工艺难点,制定了相应的工艺路线.最后对加工后的零件安装在设备上进行了工艺验证.该零件的成功应用为其他类似弹性铰链的设计加工可提供一定的借鉴作用.

关键词：晶圆减薄机、弹性铰链、工艺路线、工艺流程

所属期刊栏目：42

分类号：TH161+.2

在线出版日期：2013-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58