模板匹配算法在半导体设备中的应用

摘要：

阐述了机器视觉的定义,主要研究了模板匹配算法,并将其应用到半导体设备中.通过大量实验对基于形状和灰度的两种模板匹配算法进行了验证和分析,最后得出各种算法的使用条件和优缺点.

关键词：半导体设备、机器视觉、模板匹配

所属期刊栏目：42

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2013-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：51-54