LED湿法清洗设备CDS设计

摘要：

介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案.

关键词：集中供液系统(CDS)、泵浦输送、双套管

所属期刊栏目：42

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2013-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-45,65