激光干涉仪线性测长的准直调节方法

摘要：

概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用,简单介绍了光路准直对线性测长的影响.依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法.

关键词：激光干涉仪、光路准直、精密测量

所属期刊栏目：42

分类号：TH705(仪器、仪表)

在线出版日期：2013-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38