超声扫描显微镜的厚度测量方法

摘要：

基于超声扫描显微镜,在基本的反射扫描方式基础上开发出厚度测量扫描方式.作为实验室中的无损测厚工具,可以精确测量器件或器件中某材料层的厚度.

关键词：超声扫描显微镜、厚度测量、扫描方式

所属期刊栏目：42

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2013-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33