微小孔近场衍射光强的空间分布及仿真

摘要：

阐述了微小孔近场衍射的基本理论。重点对单色光垂直入射时圆孔衍射场的光强空间分布进行了计算机数值模拟。通过对不同半径圆孔的衍射场光强进行仿真，分析得到了衍射场光强的空间分布特性。对接近式曝光技术参数的设定具有理论指导意义。

关键词：接近式曝光、微小孔、近场衍射

所属期刊栏目：41

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2013-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-25