睿励推出FSD系列自动宏观缺陷检测设备

摘要：

睿励科学仪器的全资子公司睿励微电子设备（上海）有限公司（RMEC）隆重推出FSD系列自动宏观缺陷检测设备，包括适用于200mm及以下硅片的FSD200μ和适用于300mm硅片的FSD300。

关键词：检测设备、宏观缺陷、SD系列、微电子设备、科学仪器、硅片

所属期刊栏目：41

分类号：TN304.12(半导体技术)

在线出版日期：2012-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：65-65