超声技术在半导体行业中应用探隶

摘要：

晶片的洁净程度直接决定了晶片的价值，而晶片最前端工艺就是清洗。现代化超声技术的应用可让晶片更洁净。超声波清洗的功率、频率、尺寸、安装方式的选择都与晶片清洁程度有着密切关系。主要对超声波的原理和频率的选定进行了介绍。

关键词：超声波、兆声波、清洗

所属期刊栏目：41

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2012-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-5,20