一种用于电子装备的硅片传输机械手

摘要：

机械手替代人工完成硅片传输可以大幅提高生产效率,传输精度和降低碎片率,机械手的使用是现代电子装备自动化的重要标志。介绍了适用于硅片传输的具有x、y、z、θ向运动功能的机械手及技术指标,重点从总体效率要求及负载对电机的受力进行详细计算,并对x、y向底座的设计做了详细描述;该机械手已应用于生产线的设备上,满足设计要求。

关键词：机械手、电子装备、硅片传输、直线电机

所属期刊栏目：41

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-23,53