ZEMAX软件在曝光光源设计中的应用

摘要：

以光学设计软件ZEMAX为依托,结合曝光光源设计思路,并以实例展示设计方法和描述它的实用性,利用ZEMAX计算机辅助设计分析了曝光光源的鬼点。

关键词：曝光光源、ZEMAX软件、计算机辅助设计、鬼点

所属期刊栏目：41

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43