LED探针台CCD采集数据处理算法的研究

摘要：

因LED测试芯片经过切割、崩裂、扩张后其上的晶粒会产生很大变形,产生很多空点和排列不规则的点。LED探针台使用面阵相机对晶圆上的晶粒图像数据采集时,两屏之间存在重叠区域,造成大量重复数据。要短时间内获取到点附于蓝膜上晶粒的精确唯一位置和坐标,需要寻找一种可靠高效的数据处理算法,通过对几种数据处理算法进行研究得出最优算法。

关键词：LED探针台、数据处理、坐标资料、Map图

所属期刊栏目：41

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2012-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-14,39