25mm低阻硅抛光片清洗技术研究

摘要：

在125mm（5英寸）硅抛光片清洗过程中，发现硅片边缘容易出现“色斑”现象。对这一现象进行了分析．通过工艺试验，消除了这种现象。

关键词：硅、清洗技术、色斑

所属期刊栏目：41

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：46-48