新型砷化镓多晶高压合成炉设计与制造

摘要：

在分析原卧式砷化镓多晶合成炉缺陷的基础上．借鉴其它进口砷化镓单晶炉体部分结构优点，综合创新设计等制造出立式砷化镓多晶合成炉。经过300多炉次砷化镓多晶合成，证实新型砷化镓合成炉具有装、取料方便、电极不易沉积砷、炉体清洁快速等优点。由于提高了新合成炉密闭性及增强了石墨系统稳定性，从而保证了砷化镓多晶合成产品的一致性。

关键词：合成炉、砷化镓多晶、设计与制造

所属期刊栏目：41

分类号：TF806.1(有色金属冶炼)

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-38,48