一种小型重力补偿器的研究

摘要：

光刻机工件台的小型重力补偿器是光刻技术中关于硅片调焦调平的关键技术，其性能直接影响机器焦深误差。针对一种主动小型重力补偿器展开研究，给出了机械结构、驱动电机和隔振性能的设计，通过实验表明了设计符合需求。

关键词：小型重力补偿器、隔离振动、工件台

所属期刊栏目：41

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23