键合机热台温度研究

摘要：

键合机在工作时需要用热台将工件加热到一定温度，热台不仅要将工件加热，而且要保证加热均匀，否则会影响产品的质量。采用ANSYS对热台进行优化分析，然后通过实验分析验证．最终得出影响热台温度均匀性的因素。

关键词：热台、温度均匀性、热平衡

所属期刊栏目：41

分类号：TN948.43

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7-10