Manz发布业界产出量最快的湿制程设备加快cSi生产制程整合
高科技产业整合解决方案供应商Manz将参展SNEC2012第六届国际太阳能产业及光伏工程（上海）展览会暨论坛（展位：E3馆，310），届时将展示其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备：IPSGCEI4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层，进而产生化学边缘隔离（CEI），还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）。
制程设备、产业整合、cSi、产出量、晶体硅太阳能电池、生产、太阳能产业、扩散过程
41
TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2012-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共2页
61-62
