GLOBALFOUNDRIES德累斯顿工厂出货第25万枚32nmHKMG晶圆

摘要：

GLOBALFOUNDRjES日前宣布，其在德国德累斯顿的Fab1工厂出货已超25万个基于32n／n高K金属栅制程技术（HKMG）的半导体晶圆。这一里程碑体现了GLOBALFOUNDRIES同其它代工厂相比在HKMG制程技术制造方面的重要领先性和其一直秉承的将前沿技术快速实现量产的历史传统。

关键词：工厂、晶圆、制程技术、历史传统、快速实现、半导体、金属栅

所属期刊栏目：41

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2012-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：63-63