蓝宝石抛光去除率试验的正交设计方法

摘要：

影响蓝宝石抛光去除率的因子有很多,为了得到最佳工艺流程和工艺参数组合,实际工作中需要在诸多影响因素中找出对去除率影响最显著的因子,并以拟合方程的形式来建立数学模型。探讨了运用正交试验的方法,通过MINITAB软件对试验数据进行分析,从而了解各抛光参数对抛光去除率的影响,最终确定一组最优的工艺参数。

关键词：正交试验、蓝宝石抛光、去除率

所属期刊栏目：41

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：国家863项目2009AA043101

在线出版日期：2012-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：29-32,58