高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究

摘要：

介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。

关键词：串级控制、扩散炉、PID

所属期刊栏目：41

分类号：TM914.41

在线出版日期：2012-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23