10.3969/j.issn.1004-4507.2012.04.004
基于Modbus协议的立式炉电力监测系统
针对300 mm立式炉设备电力安全性、可靠性的需要,设计、实现了一套立式炉电力监测系统。基于Modbus协议,该系统实现上位机实时获取并保存立式炉设备上各段温区的电力数据。保存的电力数据不仅可用于设备的故障诊断,还可用于分析炉体加热器在各温度点上的电学特性。该系统已应用于实际的立式炉设备电力监测。实际效果表明,该系统具有运行可靠、扩展性好、使用方便的特点。
立式炉、Modbus协议、串口通信、故障诊断
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TN305(半导体技术)
2012-06-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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