浅谈高频干扰对硅芯炉的影响及防护措施

摘要：

高频电源是硅芯生产设备中的重要组成部分。目前硅芯炉都具备单炉次拉制多根硅芯的能力。与早期拉制单根设备相比需要母料的体积加大,直径不断加粗。母料体积越大,就越难熔化,因此高频电源都需要提高振荡频率来熔化更粗的母料。伴随着振荡频率增加高频噪声也相应增加。同时对硅芯炉电气控制柜及其内部的电气元件的干扰也就随之增大。主要分析高频噪声对硅芯炉运行产生的干扰及其原因和危害,同时针对这些干扰提出一些防护措施。

关键词：高频电源、硅芯炉、高频噪声、防护措施

所属期刊栏目：41

分类号：TF806.9(有色金属冶炼)

在线出版日期：2012-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-15,39