UltratechLSA101激光尖峰退火系统

摘要：

LSA101是Ultratech最新一代激光尖峰退火系统，支持28nm及更先进技术节点的交界激活和其他先进的前端退火工艺。该系统以其前身LSA100A采用的、经过实地验证的长波长技术为基础，为高级CMOS制造提供优秀的固有优势——在模块的内均匀性和独立于设计布局的工艺成果上表现卓越。

关键词：退火工艺、系统、激光、技术节点、CMOS、长波长、均匀性、前端

所属期刊栏目：41

分类号：TN241(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：62-62