变速切割速度曲线对硅片翘曲度的影响

摘要：

根据线切割机的工作原理，综合考虑了砂浆中磨料在磨削过程中的变化以及单晶直径的变化，确定了变速切割的工艺方法，同时考虑到125mm单晶直径大、SIC磨削路线长、磨削发热量大，制定了包括线速度、耗线量、砂浆温度、砂浆流量以及各部分温度的工艺参数。通过该工艺参数进行了切割实验，验证了该工艺参数下切割的晶片可以满足要求。

关键词：线切割、翘曲度、切割速度

所属期刊栏目：41

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2012-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44