立用于硅片传输系统的机械手设计

摘要：

介绍了应用于硅片传输系统的机械手发展现状．主要针对12英寸全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计，对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以推广到整个半导体生产线其他工艺设备的应用．对未来大尺寸半导体生产线的国产化具有很大意义。

关键词：硅片、传输系统、机械手、探针测试台

所属期刊栏目：41

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-40