300mm立式炉恒温区测量系统的设计与实现

摘要：

针对300mm立式炉设备恒温区测量的需求，设计并实现了一套恒温区测量的软硬件系统。硬件系统由电机、电机驱动器、PLC模块、工控机、热电偶等组成。同时为了更加灵活方便的操作恒温区测量装置，设计了一套完整的控制软件系统，实现热电偶的3种运动控制模式，显示热电偶当前的状态——运动速度、位置、温度，保存温度、位置等数据。恒温区测量实验表明，该系统能满足立式炉设备恒温区测量功能的需求．现已成功应用于300mm立式氧化炉设备。

关键词：立式炉、恒温区、PLC

所属期刊栏目：41

分类号：TN305.4(半导体技术)

在线出版日期：2012-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：27-30