新一代PTFE滤膜在半导体和LCD/FPD中的应用

摘要：

在SEMICONJAPAN展会上，戈尔公司引进了高密度聚乙烯系列的新一代聚四氟乙烯（PTFE）滤膜制成的筒状滤芯，用于半导体和LCD／FPD制造所用高纯化学品的生产中。

关键词：半导体、PTFE、滤膜、应用、高密度聚乙烯、聚四氟乙烯、化学品、FPD

所属期刊栏目：40

分类号：TN304.23(半导体技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：59-59