国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项2011年度工作总结暨部署大会

摘要：

2011年12月22日,极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项（以下简称＂集成电路装备专项＂）工作总结暨部署大会在上海召开。专项领导小组组长、科技部副部长曹健林,专项第一行政责任人、上海市副市长沈晓明,

关键词：大规模集成电路、制造装备、成套工艺、科技部、部署、大专、上海市、副部长

所属期刊栏目：40

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：55-55