高精度模糊自整定温度控制系统研究

摘要：

针对半导体专用设备对温度的特殊要求,采用了一种基于模糊算法、对加热对象适应能力较强的变参数温度控制系统,通过在某半导体专用设备中使用考核,该控制系统控制精度、对控制对象的适应能力、抗冲击能力以及稳定性得到了很好地验证。

关键词：半导体设备、温度控制、高精度、模糊自整定、自学习

所属期刊栏目：40

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37