硅片传输机器人的分析设计

摘要：

根据硅片传输机器人在IT行业的应用特点,针对R-θ二自由度结构的机器人进行了运动学和动力学的分析,根据分析结果,进行结构设计和运动原理的描述,对多自由度机器人设计和研发进行探索。

关键词：机器人、自由度、运动学分析、动力学分析

所属期刊栏目：40

分类号：TP271.2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：15-20