全自动网络单晶炉系统设计与应用

摘要：

单晶炉是生产单晶硅的核心设备,其控制系统分析模型的建立有两种方法。一是以单晶直径外形尺寸为目标建立模型;二是以电气控制系统变量为目标建立模型。两种方法均未考虑到单晶生长工艺影响与单晶工艺指标。提出一种以固液交界面热场动态平衡分析为基础的方法,建立单晶炉控制系统变量分析模型,并据此辅以直径形状控制变量的工艺性制约因素考虑,采用工业以太网技术构成全自动网络单晶炉系统设计方案。

关键词：单晶炉、固液交界面、设计、模型

所属期刊栏目：40

分类号：TF806.9(有色金属冶炼)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,14