大直径探针台的晶圆自动传输系统

摘要：

介绍了适应大直径探针台的晶圆自动传输系统及其主要的组成部分——一片盒承载台、关节机械手、预对准装置。应用动力学分析证明R-θ型机械手的直线运动轨迹，阐述了机械式和光学预对准装置的主要原理，说明了晶圆自动传输系统的应用前景。

关键词：晶圆自动传输、探针台、R-θ型机械手、预对准

所属期刊栏目：40

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-40