光学光刻机的未来技术

摘要：

1集成电路技术路线图
1．1IC技术的历史与未来

关键词：集成电路技术、光刻机、光学、IC技术、路线图

所属期刊栏目：40

分类号：TN705.7(基本电子电路)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：18-25