6R机械手在CMP设备中的运动空间分析

摘要：

工作空间是一个衡量机械手工作能力的重要运动学指标。通过分析抛光机中机械手的工作流程，确定了机械手工作空间；并利用D-H坐标法，建立6R机械手的数学模型，得到机械手来端坐标系相对于基坐标系的传递矩阵。最后，采用蒙特卡洛数值分析法，仿真了机械手的运动空间，结果显示，该机械手的运动空间大于设备要求的工作空间。满足CMP设备的使用需求。

关键词：机械手、工作空间、蒙特卡洛法

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：基金项目:国家02重大专项2009ZX02011-005A

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：11-14,56